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반도체융합산업

주사전자 현미경(FE-SEM)

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No. b008
장비명 주사전자 현미경(FE-SEM)
용도 제품의 국소 및 결함 분석, 초미립자 및 바이오 소재 등의 미세조직 관찰, 표면 원소 분석
사양 - 해상도 : 1.0㎚ @ 15kV, 2.0㎚ @ 1kV, 1.3㎚ @ 1kV
- 배율 : 20배 ~ 800,000배
- 전자 건 : Cold-cathode field emission type
- 가속전압 : 0.1kV ~ 30kV
- Specimen stage
· X : 0 ~ 50mm, Y : 0 ~ 50mm, Z : 1.5 ~ 30mm
· Tilt : -5˚ ~ +50, Rotation : 360˚ (continuous)
설치장소 시험생산동 108호
신청방법 유선문의
사용료(일반) 70,000원/시간 (부가세 별도)
문의처 반도체융합산업센터 주선아 Tel. 032-260-0823 / E-mail. suna421@itp.or.kr
모델 SU-8010