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반도체융합산업

표면 개질 및 박막 코팅 장비

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No. b007
장비명 표면 개질 및 박막 코팅 장비
용도 표면 개질 및 박막 코팅 장비
사양 - 5 cm Cold hollowed type ion gun(Ar, O2, N2 이온을 이용하여 표면처리)
- 2 Sputtering source (450x10)
- Target 종류 Al, NiV, Cu, Ag, Si, W, Ti
설치장소 시험생산동 111호
신청방법 유선문의
사용료(일반) 70,000원/시간 (부가세 별도)
문의처 반도체융합산업센터 강인철 Tel. 032-260-0840 / E-mail. kic22@itp.or.kr
모델 주문 제작