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반도체융합산업

정밀분위기 제어 고온 탈지로

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No. b006
장비명 정밀분위기 제어 고온 탈지로
용도 시제품 제작 등 고온 탈지용
사양 - 로형식: 전면도어식 고온분위기 Chamber Furnace
- 사용 온도 :1100 ℃ 이상
- 승온 속도 : 최대 10 ℃/min
- 온도분포 : ± 5 ℃
- 분 위 기 : 질소/Air 또는 특수가스분위기(Vacuum, CO2, H2 등 추가 가능)
- Work Zone : 400W * 400H * 800D/mm
- Furnace 전체규격 : 1200(W)이하 × 1400(D)이하 × 1700(H)이하 mm
설치장소 시험생산동 111호
신청방법 유선문의
사용료(일반) 23,000원/시간
문의처 반도체융합산업센터 강인철 Tel. 032-260-0840 / E-mail. kic22@itp.or.kr
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